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u-iii表面粒子计数器实验操作指南

‌（基于uk micron optoelectronics设备规范与行业标准）‌

‌【概述】‌

u-iii表面粒子计数器是一款专用于电子半导体、精密光学等领域的高灵敏度检测设备，通过‌激光散射技术‌和‌智能再悬浮系统‌，可量化分析0.1-10.0μm表面颗粒的浓度与粒径分布，为洁净度控制提供标准化依据。

‌【实验/设备条件】‌

‌环境要求‌

洁净度等级：符合‌iso 14644-1 class 5‌及以上（百级洁净环境）。

温湿度控制：温度20-25℃，湿度40-60%‌7。

‌设备配置‌

高精度激光传感器（波长635nm，分辨率0.1μm）‌。

静态采样模式（减少气流干扰）‌。

7英寸触控屏（实时数据显示与操作）‌。

‌【样品提取】‌

‌表面颗粒再悬浮‌

使用‌微型气流喷射模块‌，通过设定流量（2-5l/min）将附着颗粒均匀悬浮至检测区。

采样面积：标准模式覆盖5cm²（可扩展至20cm²）‌。

‌液滴法辅助检测（可选）‌

针对液体表面污染，采用‌微型流控通道‌生成液滴（20-100μl），通过光散射分析颗粒分布。

‌【实验/操作方法】‌

‌设备启动‌

开启电源预热10分钟（确保激光传感器稳定性）‌。

校准粒径通道（默认0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0μm）。

‌采样与检测‌

选择‌静态采样模式‌，设置采样时间（1-10分钟）。

启动气流喷射，实时监测颗粒浓度（#/m³）及粒径分布。

‌数据记录‌

导出格式：支持csv、pdf（含时间戳与检测参数）。

超标报警：自动标记浓度超限区域（如0.3μm颗粒＞1000#/m³）‌。

‌【实验结果/结论】‌

‌关键参数‌

颗粒浓度：以每立方米（#/m³）或每平方厘米（#/cm²）为单位统计‌。

粒径分布：六通道分类占比（例如0.3μm颗粒占比＞70%需触发清洁程序）。

‌结论分析‌

洁净度评级：对比‌iso 14644-9‌标准，判定区域是否符合工艺要求‌。

污染溯源：结合颗粒浓度峰值与设备运行状态，定位污染源（如设备磨损、人员操作）‌。

‌【仪器/耗材清单】‌

‌注：‌ 实验操作需遵循厂商操作手册及iso标准规范，定期进行设备校准（推荐周期≤6个月）‌