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- kla profilm3d 是一款3d白光干涉轮廓仪。kla profilm3d 光学轮廓仪使用垂直干涉扫描(wli)技术与相位干涉(psi)技术。以较低的价格实现次纳米级的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不损伤样品。
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- contourx- 200光学轮廓仪完美融合了高级表征、可定制选项和易用性,可提供一流的快速、准确和可重复的非接触式三维表面计量方法。该设备作为可用于计量的小尺寸系统,配置了大视场的5百万像素摄像头和新型电动xy载物台,可提供高性能的的2d / 3d高分辨率测量功能。 1. 超强 led 双光源，白光和绿光 2. 垂直测量范围： 0.1nm 至 10mm；为了保证测量精确性，全量程闭环扫描，可连续测量0.1nm 到 10mmz 向起伏样品，无需缝合拼接 3. 垂直方向的分辨率：≤0.1nm； 4. rms 测量的重复性：0.01nm； 5. 台阶高度测量准确性：≤0.75%； 6. 台阶高度测量重复性：≤0.1%； 7. 测量台：x-y 行程 150mm×150mm，自动控制；z 方向最大行程 100mm，自动控制; 测量台倾斜俯仰(±6°)； 8. 最大样品测试高度：100mm； 9. 采样点数：≥1280*960； 10. 真彩色模块，含彩色 ccd 摄像头和彩色分析模块，实现样品真彩色三维形貌测量。 11. 横向分辨率：≤0.5µm 12. 样品反射率：<0.05%至 100%； 13. 具备自动聚焦功能，自动调光强功能 14. 具有无缝拼接功能，专利设计螺旋拼接，可以提高拼接速度，节省测试时间。 15. 自动目镜切换系统，可选 1x，0.55x, 2x 目镜（至少选择一个镜头） 16. 5 孔自动物镜塔台（选配） 17. 白光干涉物镜 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x （至少选择一个镜头） 18. 真彩色模块信号采集系统，分辨率 1280*960 19. 配备超光滑 si-c 样品和带 8um 台阶样品
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- 德国布鲁克 contourx-200 欧洲 德国
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- ·优质的测量与分析功能 ·先进计量设备 ·zg性能表面计量
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- 德国布鲁克 contourx-500 欧洲 德国
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- 美国filmetrics f3-sx 美洲 美国
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- filmetrics f3-sx 白光干涉膜厚测量仪利用光谱反射原理，可以测量厚度达到3毫米的众多半导体及介电层薄膜。相对于较薄的膜层，这种厚膜的表面较粗糙且不均匀，f3-sx系列膜厚仪配置10微米的测量光斑，从而可以容易地测量其他膜厚测量仪器不能测量的膜层，并且仅在几分之一秒内完成。f3-sx膜厚仪在si晶圆厚度测量、护涂层、ic芯片失效分析、厚光刻胶等方面优异表现。
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- 德国布鲁克 npflex-1000 欧洲 德国
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- 落地式npflex-1000白光干涉（wli）测量系统为精密制造业带来了前所未有的灵活性、测量能力和性能，从而理解和控制制造过程。该系统采用开放式龙门架设计，具有300mm的样品台与目镜间距，因此能够在各种形状和尺寸的样品上轻松测量微观及宏观特征。全新的一键高级查找表面™ 通过结合自动对焦和自动照明，消除了在每次测量之前手动聚焦表面的需要，从而提升用户体验，并减少测量时间。结合自适应usi测量模式和引导、简化的visionxpress ™ 界面，npflex-1000为汽车、医疗器械和增材制造等生产领域提供了毫不妥协的计量方法.
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- 德国布鲁克 contourx-1000 欧洲 德国
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- 落地式contourx-1000 白光干涉（wli）系统集成了bruker 在硬件和软件上的z新技术， 可 用于全自动三维表面纹理和粗糙度测量。全新的一键式高级寻找表面 （advanced find surface ™）功能结合自动聚焦和自动照明功能，无需每次测量前手动查找样品表面，极大提升了用户体验且缩短测量时间。结合自适应测量模式 usi 和简 洁的引导式 visionxpress ™操作界面，contourx-1000 在任何表面，任何操作人员，甚至多用户高负荷的生产设备下都可提供不打折扣的精确测量。
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- 德国布鲁克 contourx-100 欧洲 德国
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- contourx-100光学轮廓仪以z佳的价格为准确和可重复的非接触式表面计量树立了新的标杆。 该小尺寸系统采用流线型设计，结合了数十年专有的布鲁克白光干涉仪（wli）创新，可提供毫不逊色的2d/ 3d高分辨率测量功能。满足计量要求的台式系统具有业界z先进的友好用户界面，可直观访问多种预编程滤镜和分析工具，用于精密加工的表面，薄膜和摩擦学应用分析。
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- 德国布鲁克 contourx-200 欧洲 德国
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- contourx-200光学轮廓仪完美融合了高级表征、可定 制选项和易用性，可提供一流的快速、准确和可重复的 非接触式三维表面计量方法。该设备作为可用于计量的小尺寸系统，配置了大视场的5百万像素摄像头和新型电动xy载物台，可提供高性能的的2d/3d高分辨率测量功能。
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- 德国布鲁克 contourx-500 欧洲 德国
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- contourx-500光学轮廓仪是世界上z全面的快速，非接触式3d表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的自动倾斜光学测头，可以完全编程并自动测试一定角度范围内的表面特征，并能z大程度地减少跟踪误差。
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- 德国布鲁克 npflex 3d 欧洲 德国
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- 德国布鲁克 dektakxt 欧洲 德国
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- 德国布鲁克 contourx-100 欧洲 德国
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- bruker布鲁克三维光学轮廓仪contourx-100 具备高性价比的 contourx-100 光学轮廓仪为精确的、可重复的、非接触式表面测量树立了新基准。 该系统占地面积小，所采用的简化方案融合了布鲁克几十年的白光干涉（wli）创新技术，具有强大的二维/三维高分辨测量能力
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- 西班牙sensofar s neox five axis 欧洲 西班牙
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- s neox five axis 3d光学轮廓仪结合了高精度旋转模块和s neox 3d光学轮廓仪的先进检测和分析功能在指定的位置上实现全自动地3d表面测量，并结合在一起，完成全表面的3d立体测量。
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- 昊量/auniontech imos 上海 徐汇区
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- imos纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征，在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
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- 德国布鲁克 contourx-200 欧洲 德国
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- contourx-200 三维光学轮廓仪，灵活的台式表面形貌测量设备
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- 德国布鲁克 contour x 欧洲 德国
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- 布鲁克bruker白光干涉光学轮廓仪 contour x, 满足微纳米表面测量需要
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- 法国tribotechnic lky 欧洲 法国
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- 通过无支架导轨模块来完成测量涂层或基底材料的磨耗速率
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- 德国布鲁克 contourgt 欧洲 德国
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- 德bruker光学轮廓仪contorugt-表面量测系统-供生产qc/qa及研发研用的非接解触型光学轮廓仪,contourgt 系列产品中包含有旗靓级contourgt-x, 进阶级contourgt-1及入门等级的桌上型k0,每款机型可提供多种加工与制造业市场上各种应用范围（包括高亮度led，太阳能，眼科，半导体及yl装置等）。nprlex 为大尺寸工件精密加工提供非接触准确测量。
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- 德国布鲁克 contourgt 系列 欧洲 德国
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- contourgt 系列产品结合先进的64位，多核心运作及分析软件，zl的白光干涉仪（wli）硬件，以有前所未具简易操作度，为目前所开发量先进的3d光学表面轮廓仪。
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- 西班牙sensofar s mart&s onix 欧洲 西班牙
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- s mart的重量约只有s neox的一半(6kg)，加上紧凑的外观使的它在安装上有更多选择，例如可以直接在生产在线安装做分析等。
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- 德国布鲁克 contour x-500 欧洲 德国
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晶圆几何形貌测量及参数自动检测机使用高精度高速光谱共焦双探头对射传感器实现晶圆的非接触式测量，结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量，该系统适用于晶圆多种材质的晶圆，包括蓝宝石、gaas、gan、sic 以及 si 等；
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晶圆几何形貌及参数自动检测机pls- f1000/ f1002 是一款专门测量晶圆厚度、ttv, bow, warp, tir, sori, sag, ltv等参数的自动晶圆形貌检测及分选机。
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晶圆几何形貌及参数红外干涉自动检测机使用高精度高速红外干涉点传感器实现晶圆的非接触式测量，结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量，该系统适用于晶圆多种材质的晶圆，包括蓝宝石、gaas、gan、sic 以及 si 等；可以实现的尺寸与结构测量内容包括： 包括 ttv, bow, warp, thickness ， tir, sag, ltv(fullmap 测试)。
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专为测量旋转对称样品的表面形貌和透明薄膜的厚度而设计，如金刚石车削光学表面和模塑或抛光的非球面透镜
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contourx-500 具有卓越的 z 轴分辨率和准确度，并具备布鲁克落地式白光干涉（wli）仪器广受业界认可的所有优势，而占地面积更小
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contourx-200 光学轮廓仪提供了高级表征能力、可选定制配件、和使用方便三者的完美融合，是同类产品中*快、*准确、可重复性*高的非接触式三维表面计量系统。
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具备最高性价比的 contourx-100 光学轮廓仪为精确的、可重复的、非接触式表面测量树立了新基准。
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