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p-7建立在市场领先的p-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了p-17技术的测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。
kla先进的探针式台阶仪alpha-step d-600,可测量纳米级至1200um台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0a (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率
alpha-step d-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2d 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。
alpha-step d-500 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2d 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。
p-17是第八代台式探针轮廓仪。该系统领先业界,支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2d和3d测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
tencor p-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2d和3d测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
tencor p-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2d和3d测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
tencor p-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能,适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2d和3d测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。 tencor p-170具有先进的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台,这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求
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