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等离子刻蚀机清洗机用于表面清洗,活化,刻蚀电源属于150w 13.56mhz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备,主要应用于半导体、镀膜工艺、pcb制程、pcb制程、元器件封装前、cog前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。,与动辄十几万美元的大型产品相比小型等离子清洗机具有成本低廉、操作灵活的特点。
vp-rs15等离子刻蚀机补充国内技术空白(真空不锈钢腔体等离子清洗装置),真空腔体不锈钢材质,功率500w,频率13.56mhz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,不损伤样品,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(cf)、微流控芯片pdms键合、ito导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、pet、二氧化硅等几乎所有材料的plasma处理。
上海沛沅ccp等离子刻蚀机winetch是面向科研及企业研发客户使用需求设计的高性价比ccp等离子体系统。作为一个多功能系统,它通过优化的系统设计与灵活的配置方案,获得高性能ccp刻蚀工艺。该设备结构紧凑占地面积小,专业的机械设计与优化的自动化操作软件使该设备操作简便、安全,且工艺稳定重复性很好。
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